研究方向:
先進半導體芯片製造用的高端光刻膠🤰🏼、光刻材料和相關工藝集成的研究(微電子方向)
90nm~5nm節點高端半導體光刻材料的研發
探索Moore's Law的材料極限,研發下一代10~5 nm分辨率的光刻材料DSA
研究DSA的圖像化工藝和plasma刻蝕工藝
納米器件的設計和加工
納米材料的精密設計和合成 (材料方向)
新型納米材料、器件的研發💺,序列可控聚合物及其納米復合材料的研究
學術經歷:
1997年-1998年University of California, Berkeley, Chemistry Dept. 化學系🍪,博士後
1996年-1996年美國University of Akron, Polymer Science 高分子系,博士後
1992年-1995年日本Tokyo institute of technology 高分子化學,博士
1990年-1992年日本京都大學🍵🧑🏽⚕️,高分子化學碩士
1984年-1988年中山大學,有機合成學士
工作經歷🗾:
2015年-至今沐鸣娱乐,教授💆🏻、國家高層次人才
2014年-2015年TOK美國❤️🔥,Fellow
2001年-2014年美國Intel公司🎊,光刻工藝研發工程師&FMO材料研發主管
1998年-2000年美國ROHM&HAAS公司🧚🏼♀️🤷🏻♀️,高級研究員